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2025~2027 중소기업 전략기술로드맵 반도체장비
- 글쓴이
- 중소벤처기업부,중소기업기술정보진흥원 공저
- 출판사
- 진한엠앤비
- 출판일
- 2025년 3월 17일
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책 소개
분야대학교재
반도체 제조 공정에 사용되는 것으로 반도체 생산을 위한 준비 단계(반도체 회로설계, 웨이퍼 제조 등)부터 웨이퍼 가공, 칩 생산, 조립·검사 단계까지의 모든 장비를 포함
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