진공 기술에서 일어난 혁신이란 무엇인가. 바늘 구멍만한 크기 속에 복잡한
회로를 인쇄해 넣는 LSI의 제조 등은 먼지를 없앤 깨끗한 환경 아래에서
해야한다. 그것을 실현하는 것도 진공 기술의 하나이다. 보통 ‘진공’이란
공간 속의 기체 분자가 적은 상태라고 생각되고 있다. 그러나, 더욱
‘청정’의 극한을 추구하면 단지 공간의 분자 밀도를 적게 할 뿐만 아니라
물질 표면에 붙은 기체 분자 하나하나의 동작에 주목해야 한다. 여기에서부터
초고진공 기술이 태어났다. 이 기술 혁신에서 무엇이 일어나고 무엇이
가능해졌는가?!