전력반도체는 전기에너지를 변환하고 제어하는 핵심 부품으로서 산업용 전력 시스템, 자동차 전장, 재생에너지 설비, 전원 장치 등 다양한 분야의 기반을 이룬다. 이러한 전력반도체의 성능과 신뢰성은 소자 설계뿐 아니라 제조 공정의 정밀도와 재료 기술, 품질 관리 체계에 의해 크게 좌우된다. 전력반도체 제조 기술 이론서는 이러한 제조 전반의 구조를 체계적으로 정리하고, 공정별 원리와 상호 연관성을 이해할 수 있도록 구성한 안내서이다.

본서는 전력반도체의 재료와 기판 특성에서부터 웨이퍼 전처리, 에피택시, 박막 형성, 포토, 식각, 도핑, 열처리, 금속 배선, 패키징, 검사와 신뢰성 평가에 이르기까지 제조 기술의 핵심 내용을 폭넓게 다룬다. 각 장은 제조 흐름에 따라 자연스럽게 이어지도록 구성되어 있어 개별 공정의 의미를 이해하는 데 그치지 않고, 전체 생산 체계 속에서 각 기술이 어떤 역할을 담당하는지도 함께 파악할 수 있도록 했다.

복잡한 제조 기술을 불필요하게 장식하거나 과도하게 확장하지 않고, 기본 원리와 공정 구조를 중심으로 명확하게 정리하는 데 중점을 두었다. 이를 통해 전력반도체 제조 기술을 처음 접하는 독자에게는 전체 흐름을 이해할 수 있는 기초를 제공하고, 관련 내용을 정리하려는 독자에게는 체계적인 이론 참고서로 활용될 수 있도록 했다.

전력반도체 제조 기술을 이해한다는 것은 단순히 공정 명칭을 익히는 데 그치지 않고, 재료 선택, 공정 조건, 구조 형성, 품질 확보가 하나의 기술 체계 안에서 어떻게 연결되는지를 파악하는 일과 같다. 본서는 이러한 연결 관계를 중심에 두고 전력반도체 제조 기술의 본질을 균형 있게 설명함으로써, 제조 현장을 이해하는 데 필요한 이론적 기반을 충실히 제공하고자 한다.

*생성형 인공지능을 활용하여 제작하고 편집 과정을 거쳤습니다. 편집자의 최종 검토를 거쳐 제작되었습니다.