금번 대학이나 대학원 과정에서 필요한 반도체 실습교재로, 대학을 졸업하고 반도체 기술을 배우려는 산업체 기술자의 훈련교재로, 또는 이미 반도체 분야에 종사하고 있는 기술자들에게 기본적인 지식을 심화시키기 위한 교재로 실리콘 집적회로 공정기술에 관한 책을 우리글로 만들게 되었습니다.

최신 공정기술의 내용을 상당부분 보강하고, 시대에 뒤떨어진 내용은 과감하게 삭제하면서, 이해가 어려운 부분은 쉽게 풀어 설명하였습니다. 그러면서도 급변하는 시류를 좇기보다 세월이 지나도 변하지 않는 반도체 공정 기본지식을 제공한다는 이 책의 근본목표는 고수하고자 하였습니다.