이번 5차 개정판에서는 급격하게 발전하는 반도체 공정 기술의 진보를 상당부분 과감하게 수용하였고 시대에 뒤떨어지거나 불필요한 내용은 과감하게 삭제하였다. 아울러 이해가 어려운 부분은 쉽게 풀어서 설명하고 이전 판에서의 오류를 수정하는 작업도 게을리하지 않았다. 그러면서도 “급변하는 시류를 좇기보다 세월이 지나도 중요한 반도체 공정 기본지식을 제공”한다는 이 책의 근본적인 목표는 변함없이 고수하고자 노력하였다.